https://cfaed.tu-dresden.de/dcn/contacts

Die Leistungsfähigkeit moderner Transistoren und Speicherzellen wird heute maßgeblich durch Mikrostruktur, chemische Zusammensetzung und Qualität der Grenzflächen der verwendeten Materialien bestimmt. Um die Funktionsweise und mögliche Ausfallmechanismen neuartiger Elektronikbauteile besser zu verstehen, werden komplementäre Analyseverfahren benötigt, mit deren Hilfe die lokale Struktur und chemische Zusammensetzung auf verschiedenen Längenskalen untersucht werden, um sie mit deren physikalischen Eigenschaften zu korrelieren – eine Aufgabe, die im Sonderforschungsbereich/Transregio 'Active-3D' von zentraler Bedeutung ist.

Diese Analytik erfordert präzise und schädigungsfrei vorbereitete Proben nanoskopischer Abmessungen, die insbesondere für in-situ Charakterisierungen mit komplexen Kontaktstrukturen versehen sein müssen. Das diesjährige Sächsische Präparatorentreffen bietet hierzu eine Plattform zum Austausch von Erfahrungen, Problemlösungen und praktischen Tipps rund um klassische und ionenstrahlbasierte Methoden der Probenpräparation.